石墨模具該怎么降低損耗?
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發(fā)布時(shí)間:2022-09-14 11:23:08
半導(dǎo)體工業(yè)對(duì)石墨材料的要求特別高,粒度細(xì)的石墨具有高精度、耐高溫、高強(qiáng)度、低損耗等優(yōu)點(diǎn),如燒結(jié)用石墨模具。由于半導(dǎo)體工業(yè)中使用的石墨設(shè)備(包括加熱器及其燒結(jié)模具)需要承受反復(fù)的加熱和冷卻過(guò)程,為了延長(zhǎng)石墨設(shè)備的使用壽命,通常要求使用的石墨材料應(yīng)具有穩(wěn)定的性能和抗熱震性。為了滿足上述要求,中國(guó)現(xiàn)已開(kāi)發(fā)出一系列適用于半導(dǎo)體行業(yè)的石墨材料。
1、絕緣子燒結(jié)模具石墨模具適用于燒結(jié)電容器絕緣體;燒結(jié)厚膜集成電路絕緣體;各類(lèi)三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結(jié);超小型繼電器、連接器等元件的絕緣體燒結(jié)模具等。
2、電子設(shè)備的燒結(jié)
石墨模具可用于燒結(jié)各種類(lèi)型的可控硅管、三極管、二極管等設(shè)備的管芯。如果用高頻爐熔煉法生產(chǎn)單晶,也要用石墨舟。