在太陽(yáng)能光伏行業(yè)，單晶爐熱場(chǎng)的好壞直接關(guān)系到單晶硅的質(zhì)量

在太陽(yáng)能光伏行業(yè)，單晶爐熱場(chǎng)的好壞直接關(guān)系到單晶硅的質(zhì)量，合格的熱場(chǎng)能夠生長(zhǎng)出高質(zhì)量的單晶，因此創(chuàng)造良好的熱場(chǎng)條件，在直拉單晶工藝上有非常重要的因素。


在太陽(yáng)能光伏行業(yè)，單晶爐熱場(chǎng)的好壞直接關(guān)系到單晶硅的質(zhì)量，合格的熱場(chǎng)能夠生長(zhǎng)出高質(zhì)量的單晶，因此創(chuàng)造良好的熱場(chǎng)條件，在直拉單晶工藝上有非常重要的因素。石墨是單晶生長(zhǎng)的載體，石墨在直拉單晶生長(zhǎng)爐中以高純石墨和等靜壓石墨加工件為主。

　　根據(jù)實(shí)際情況的需要，熱場(chǎng)的大小根據(jù)石英坩堝的直徑大小來(lái)劃分的，目前我國(guó)熱場(chǎng)從φ12"~φ28"都有，一般情況下φ18"~φ22"居多。

　　我們?cè)谶@里所講的單晶爐的熱系統(tǒng)就是所謂的熱場(chǎng)，，熱場(chǎng)一般包括壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、（三瓣式）石墨坩堝、坩堝托桿、坩堝托盤(pán)、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓，未來(lái)防止漏硅，爐底、金屬電極、托桿都設(shè)置了保護(hù)板和保護(hù)套。

石墨加熱器
　　加熱器是熱場(chǎng)中很重要的部件，是直接發(fā)熱體，溫度最高的時(shí)候可以達(dá)到1600度以上。常見(jiàn)的加熱器有三種形狀，筒狀、杯狀、螺旋狀。石墨接觸到的單晶硅加熱器形狀一般都是直筒狀的。一般情況下，加熱器采用的高純石墨加工。


　　石墨電極的作用平穩(wěn)固定加熱器并通過(guò)他歲加熱器輸送電流。因此在電極要厚重，結(jié)實(shí)耐用、表面要光滑平穩(wěn)，保證良好的接觸面，通電時(shí)不打火，石墨電極也是有高純石墨加工的。

　　坩堝托桿、坩堝和托盤(pán)共同構(gòu)成了石墨坩堝的支撐體，要求和下軸結(jié)合牢固，對(duì)中性良好在下軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，托桿及托盤(pán)的擺渡小于等于0.5mm石墨支撐體的高度是可以調(diào)節(jié)的。

　
　　保溫罩分為上、中、下保溫罩，保溫罩是由一個(gè)保溫筒外面包裹石墨碳?xì)侄?，石墨碳?xì)值陌膶訑?shù)根據(jù)情況而定。下保溫罩組成了底部的保溫系統(tǒng)，它作用是加強(qiáng)鍋底保溫，提高堝底溫度，減少熱量損失。

　

　　保溫蓋有保溫上蓋、保溫碳?xì)趾捅叵律w組成，即兩層環(huán)狀石墨之間夾一層石墨碳?xì)纸M成。導(dǎo)流筒主要是未來(lái)控制熱場(chǎng)的溫度梯度和引導(dǎo)氬氣流。

　
　　石墨壓環(huán)由幾截弧形構(gòu)成的圓形環(huán)狀石墨件，放置在蓋板與爐壁接觸處，是為了防止熱量和氣體從壁爐與蓋板的縫隙間的通過(guò)。